오로스테크놀로지-연세대학교, 공동연구센터 설립…“차세대 반도체 계측 기술력 강화할 것”

편집부 | ITWorld 2022.12.08
오로스테크놀로지는 연세대학교 공과대학 내 초정밀 광 기계기술 선도연구센터(ERC)와 ‘첨단 나노계측 연구센터(Advanced Nano Metrology Research Center)’를 설립했다고 밝혔다.
 

첨단 나노계측 연구센터는 산학협력을 통해 순수 국내 계측 기술을 발전시키고, 연구 환경을 개선하기 위해 설립됐다. 앞으로 양 기관은 고난도 기술과 미래 유망 기술의 발굴 및 공동 연구개발을 진행할 예정이다.

오로스테크놀로지는 오버레이 계측 시스템을 자체 개발해왔다. 오버레이는 반도체 웨이퍼의 상부층과 하부층의 전자회로 패턴의 위치가 정확하게 정렬되는지 측정하는 기술이다. ERC는 국내 유수대학의 신진연구자들이 특정 분야를 집중적으로 연구하기 위해 모인 기관이다.

11월 24일 연세대학교 공과대학에서 진행한 협약식에는 이준우 오로스테크놀로지 대표와 명재민 연세대 공과대학 학장, 해당 연구의 중심 역할을 할 강신일 연세대 기계공학과 교수 등이 참석했다.

오로스테크놀로지 이준우 대표는 “이번 ERC와의 협력과 미래 성장을 위한 적극적인 투자로 계측장비 시장을 선도해나갈 것”이라며 “현재 오로스테크놀로지는 국내뿐만이 아니라 해외 글로벌 업체로 공급망을 확대하고 있으며, 많은 고객사의 데이터 분석을 통해 기술혁신을 이뤄내고 있다”고 말했다.
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